[00045303]光电显示低阻/低应力ITO透明导电薄膜的研制
联系人： 陈主任
所在地：福建 厦门市
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资料保密
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技术详细介绍
高档ITO薄膜一直是我国LCD产业发展的瓶颈。国内高档ITO导电膜几乎全部依赖进口。本项目组与英国等离子体公司合作开发偏转等离子体溅射系统用于ITO薄膜的研制，进行玻璃基底和柔性基底上低温沉积低应力ITO薄膜的工艺开发，该技术具有沉积速率可调、成膜应力小、靶材利用率高（90%）、低温沉积等优点，可以开展遥控溅射技术进行玻璃及聚合物基板表面低电阻和低压应力ITO透明导电膜工艺研究，形成高性能ITO导电膜的批量化生产工艺流程。
在仪器|仪表、计算机、游戏机、家用电器等领域广泛应用。中高档ITO导电薄膜市场仍然供不应求，价格走势相对平稳,目前看得到的应用就是触摸屏。触摸屏从电阻向电容转变,为镀膜产品提供了新的发展空间。另外，柔性基板镀膜技术，国内目前还不过关，大部分依赖于进口，显示器产业专门研究机构--Displaybank预测表明：今年Apple的Ipod和LG电子的PRADAPhone皆采用触控面板，触控面板再次受到关注；而随着触控面板需求的迅速增加，用于触控面板的ITO薄膜也出现市场供应不足的现象。
