[00045222]一种超高分辨率的磁力显微镜探针的制备方法
联系人： 张耀伟
所在地：辽宁 沈阳市
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技术详细介绍
一种超高分辨率的磁力显微镜探针的制备方法,属于材料技术领域,包括以下步骤:(1)将无涂层SI探针用超声波清洗;(2)将经过清洗的无涂层SI探针固定在磁控溅射设备的样品腔中,在磁控溅射设备的样品腔中通入惰性气体A;(3)将FE和PT共溅射到无涂层SI探针表面;(4)在惰性气氛下加热到500～800℃进行热处理,使FEPT合金涂层转化为L10-FEPT合金涂层。本发明制备的磁力显微镜探针可以大幅度提高磁力显微镜的分辨率,横向分辨率已经达到了10纳米以内;本发明的方法简便易行;在对纳米磁性材料的表征、深化研究磁性纳米结构等领域具有重要意义。
