[00045201]基板热处理炉
联系人： 张耀伟
所在地：辽宁 沈阳市
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技术详细介绍
本发明提供一种通过加热处理能够高效地分解在排出的热风中含有的有机物的基板热处理炉。通过向炉体主体部(10)的内部吹出热风,对玻璃基板(W)进行加热处理。从炉体主体部(10)排出的热风经由循环路径(20)再次返回炉体主体部(10)。在该路径中途,将热风的一部分排出至排气管道(23)。在排气管道(23)设置有在金属过滤器上担载催化剂而构成的催化剂过滤器部(71)。由此,被排出的热风与催化剂之间的接触效率变高,能够提高有机物的分解效率。而且,也能够捕集微粒状的有机物,从而能够提高总体上的有机物的分解效率。
