[00045130]簇射极板及采用该簇射极板的等离子体处理装置
联系人： 张耀伟
所在地：辽宁 沈阳市
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技术详细介绍
本发明提供一种等离子体处理用簇射极板,是由多个配管形成的等离子体处理用簇射极板(31),配管(31A3)由多孔质材料构件(44)和金属构件 (41)构成,该多孔质材料构件(44)被沿着配管配置,对于原料气体具有规定的气孔率,朝向外侧呈凸状;该金属构件(41)与多孔质材料构件(44)对 向配置,与多孔质材料构件(44)一起形成原料气体流路(43)。可以实现一种喷嘴构造,使原料气体呈扩散状喷出。
