[00045118]支撑销的制造方法、支撑销、热处理装置以及基板烧成炉
联系人： 张耀伟
所在地：辽宁 沈阳市
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技术详细介绍
本发明提供一种支撑销的制造方法、支撑销、热处理装置以及基板烧成炉,该支撑销对被实施加热处理的基板进行支撑,对热分解、氧化分解具有高度的耐久性。首 先,将主体部(101)的成形材料(优选树脂)在氧气以及/或者水分的含有浓度为10PPM以下的环境下射出成形为给定的销形状来形成支撑销(100)的 主体部(101)。接着,在所得到的主体部(101)的表面,通过静电粉末涂装形成氟碳膜(102)。由此,得到对被实施加热处理的基板进行支撑的支撑销 (100)。
