[00045104]成膜装置、蒸发夹具及测定方法
联系人： 张耀伟
所在地：辽宁 沈阳市
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- 产权明晰
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资料保密
对所交付的所有资料进行保密
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技术详细介绍
提供一种能够长时间均匀地成膜薄膜,特别是有机EL膜的蒸发夹具及包含蒸发夹具的成膜装置。蒸发夹具具备:蒸发皿,该蒸发皿具有底面和由该底面立设的侧面,用于对开口于侧面内部的原料收纳空间进行规定;用于将该原料收纳空间分割成多个分空间的隔板。另外,在隔板上设有卡止片,该卡止片具有用所述蒸发皿的 底面侧连通所述多个分空间的高度。
