[00045077]成膜及电子设备或有机电致发光元件的制造方法
联系人： 张耀伟
所在地：辽宁 沈阳市
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技术详细介绍
本发明提供一种不浪费昂贵的有机EL原料,并且能够长时间地均匀地形成有机EL膜的成膜装置及用于该成膜装置的冶具。单一的原料容器部具备多个吹出容器, 具备将原料容器部的有机EL原料气化后与载气一起供给到各吹出容器的配管系统切换到其他的吹出容器的配管系统的切换器。如此,通过将有机EL原料从单一的 原料容器部切换供给到多个吹出容器,可以改善有机EL原料的利用效率。
