[00045063]基板工作台以及热处理装置
联系人： 张耀伟
所在地：辽宁 沈阳市
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技术详细介绍
本发明提供一种基板工作台,具有高耐磨性并且不会发生剥离带电。在工作台主体(11)上形成的用于承载基板W的承载面(12)上,在通过压花加工而形成了给定的压花形状(E)之后,通过阳极氧化处理来形成无定形状态的氧化铝保护膜(A)。无定形状态的氧化铝保护膜(A)是致密并坚固的。因此,具有高耐磨性 并能够基本上防止发生剥离带电。
