[00045022]用于制造金属玻璃膜的溅射靶及其制造方法
联系人： 张耀伟
所在地：辽宁 沈阳市
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技术详细介绍
本发明涉及一种用于制造金属玻璃膜的溅射靶,其特征在于,具有以选自PD、ZR、FE、CO、CU、NI中的至少一种以上的金属元素为主要成分(以原子% 最多的成分)的3元系以上的组成,具有通过烧结平均粒径为50ΜM以下的喷雾粉得到的组织。本发明的课题在于,得到用于制造金属玻璃膜的溅射靶及其制造方 法,能代替通过成本高的以往的熔融金属的淬火得到的块状金属玻璃,没有所制造的金属玻璃膜的缺陷和组成不均匀的问题,组织均匀,并且能以高效、低成本制 造,而且结核和颗粒的发生少。
