[00044625]等离子体处理装置及其运转处理方法和电子装置制造方法
联系人： 张耀伟
所在地：辽宁 沈阳市
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技术详细介绍
本发明提供一种利用不需要远距离腔室和专用微波源等的简单结构就能够清洁处理室内的淀积物的技术。本发明的等离子体处理装置,利用在波导管中传播的、并向在处理室内面上配置的电介质传播的微波,使提供到处理室内的规定气体等离子体化,从而对在处理室内配置的被处理体实施等离子体处理,其中在波导管内,形成至少一部分由通过电介质材料构成的分隔壁包围的空间部,设置通过此空间部,向处理室中提供清洁气体的清洁气体流路。
