[00044618]成膜装置和成膜方法
联系人： 张耀伟
所在地：辽宁 沈阳市
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技术详细介绍
一种成膜装置及成膜方法。成膜装置具有向喷出容器内喷出有机EL分子气体的结构,具有多个有机EL原料容器、连接多个有机EL原料容器和喷出容器的配管系,多个有机EL原料容器有选择地成为有机EL分子供给状态,该配管系供给输送气体,使得在各有机EL原料容器内,在成膜时和非成膜时成为相同的压力。在非成膜时,输送气体从有机EL原料容器之一流向其它原料容器。
