[00044617]微波等离子体处理装置、电介质窗制造方法
联系人： 张耀伟
所在地：辽宁 沈阳市
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技术详细介绍
本发明提供一种抑制气体的流速的微波等离子体处理装置。微波等离子体处理装置(100)具有:通过缝隙天线(30)透过微波的由多个电介质零件(310)构成的电介质窗;固定在梁(26)下面的多个气体喷嘴(27);供给规定的气体的气体供给部;用透过电介质窗的微波使规定的气体成为等离子体,对被处理体进行处理的处理室(U)。各电介质零件(31)具有:具有第一气孔率的第一多孔材料(31PH);和连接于第一多孔材料(31PH)并且具有小于第一气孔率的第二气孔率的第二多孔材料(31P1)。气体供给部通过第一多孔材料(31PH),从第二多孔材料(31P1)将氩气导入处理室内(U),并从气体喷嘴(27)将硅烷气体导入处理室内(U)。
