[00038922]光纤型激光自混合干涉仪及其测量方法
联系人： 应亮
所在地：江苏 南京市
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技术详细介绍
本发明公开了一种光纤型激光自混合干涉仪及其测量方法。属于唯一精密测量领域。干涉仪包括分布反馈半导体激光器、保偏光纤耦合器、线内起偏器、单模光纤、电光调制器、光纤光栅、梯度折射率透镜，试件、光电探测器、数据采集与处理系统、光纤夹持器、一维导轨、二维精密平移台、显微镜、底座、支架和信号发生器。光纤光栅和试件分别于激光器的出射面构成参考外腔和测量外腔，产生两重外腔自混合干涉现象，数据采集与处理系统采用正交解调技术分析得到的自混合信号，最后可以计算得出试件的位移量。本发明的光纤干涉仪结构很适用于微机械和MEMS器件的纳米位移和振动的测量，更接近实用化。
