[00038706]有机无机复合绝缘膜
联系人： 郭太良
所在地：福建 福州市
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技术详细介绍
在电子信息产品中，绝缘薄膜多采用无机薄膜，采用PVD或者CVD方法制备，然而为了达到高质量的绝缘效果，在设备和制程上面要求严格，费用费用高昂。本项目采用常规PVD和有机薄膜复合构成有机无机复合薄膜，可以采用常规的PVD方法和廉价的厚膜工艺以及相应的热处理工艺，得到高绝缘性、低缺陷密度、厚度可控，而且热稳定性好（450度），化学稳定性好的复合绝缘薄膜。此外，这种复合绝缘薄膜的介电常数低，能够有效降低由于RC延迟导致的信号失真。
