[00037852]微型实心硅针阵列芯片及其制备方法和用途
联系人： 雷屹
所在地：江苏 苏州市
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技术详细介绍
本发明属于透皮药物释放器件领域,特别涉及一种以单晶硅为材料制作的微型实心硅针阵列芯片,以及利用微机电加工(Microelectromechanicalsystems:MEMS)技术制作微型实心硅针阵列芯片的方法和用途。利用光刻、湿蚀刻和等离子体干蚀刻及镀膜等微机电加工(MEMS)技术制作微针实心阵列芯片。在微针的侧面开有侧槽,结合双面对准光刻技术,在实心微针的背面制作了一个至多个储药池,储药池与实心微针面相连接可以增加给药量。本发明工艺简单,实心微针耐用性好,特别适用于生物大分子药物的透皮药物释放。
