[00037836]纳米压印设备及工艺

本项目“微纳米压印设备及其后续产品的研发及产业化”目标产品由两部分组成，一是应用于科研领域的各种微纳米压印设备、耗材及其相关技术服务，客户为国内外相关院校及科研机构；二是应用于民用及工业生产领域的纳米压印技术及产品，如：显示器减反增透膜，太阳能光伏板减反增透层加工，LED核心发光器件的生产及增加亮度的应用中，客户为显示产品生产厂商，太阳能光伏板生产商，LED发光器件生产制造商，新型光电子器件制造商，光学设备生产商。初步估计可应用本技术的产品及技术年市场规模为200亿至300亿人民币。 目前在中国纳米技术相关科研领域市场销售的纳米压印设备主要由国外公司垄断，其价格昂贵，技术支持缓慢等缺点严重限制了中国纳米压印技术的进展。本项目所研制制作的纳米压印设备，能够打破国外公司在此领域的垄断，在同样的设备性能的前提下，价格仅为国外公司产品的一半。由此将大力推动纳米压印技术在中国各研发领域的进展，推动国内在相关纳米技术领域拥有更多的自主知识产权。 本项目所研发制作紫外压印及热压印一体压印设备的创新点有：采用双腔体气动压力原理，精密控制温度及压力，内部集成LED紫外光源系统，可实现热压印与紫外线压印的快速转换；能够实现对6英寸模板的一次全面积均匀压印；一个压印周期不超过5分钟；可实现对高硬度材料的压印，最高压印力度可达2.6kg/cm2；设备操作简单，易于维护； 与国外同类产品相比，价格低廉，具有极高的性价比。 能够快速、廉价、大面积、高质量进行纳米压印工艺的纳米压印设备及应用此设备进行压印产品的生产将对相关领域产品产生变革性影响。 本项目所研发的应用于大规模压印产品生产的滚轮式紫外线软压印技术的关键创新点有：滚动连续压印，幅宽50至300mm，最小结构可至20nm,压印速度为30至300mm每分钟。应用本项目研发制造的压印设备进行操作，能制作出高质量、有实际应用的压印产品并能够代替现有的生产工艺且实现产业化。此工艺在太阳能光伏板减反增透层的制作中的推广，将代替已有的具有高污染的酸洗的工艺过程，在实现提高光伏板光电转换效率的同时能够减少环境污染，从而从根本上降低生产成本。此工艺在LED核心发光器件增透增亮工艺中的应用，能够起到提高LED器件亮度及质量，延长使用寿命的作用。本项目技术的推广产生数百亿元的产业效益。