[00034457]压电铁电薄膜的制备方法
联系人： 彭旗茂
所在地：上海 上海市
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技术详细介绍
专利技术名称：
压电铁电薄膜的制备方法
专利技术简介：
一种锆钛酸铅系陶瓷制备技术领域的压电铁电薄膜的制备方法，通过配制前驱体溶液、利用PLD法制备衬底以及利用Sol-Gel法在PZT结晶种子层上制备压电铁电薄膜实现。本发明利用PLD和Sol-Gel相结合的方法制备的PZT厚膜，对不同的基片适用性强；制备的PZT厚膜具有高度择优取向且晶粒大小均匀、结构致密的突出优点，可制备出3-6微米厚的锆钛酸铅薄膜，剩余极化值Pr为25～45μC/cm2，矫顽场Ec为40～65kV/cm。同时，本发明方法实现成本相对低廉；且该发明程序可控性强，具有很高的工业化运用的价值。
