[00034076]一种宽谱广角增透亚波长结构的制备方法
联系人： 王老师
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技术详细介绍
本发明深入微纳光子技术领域的研究，揭示了一种宽谱广角增透亚波长结构的制备方法，其步骤为先在需要宽谱广角增透的基底材料表面蒸镀一定厚度铝或钛的金属膜；而后放入阳极氧化槽装置中进行完全阳极氧化，形成从基底表面金属氧化物垒层到空气折射率渐变的氧化铝或氧化钛的多孔结构；然后对半成品进行清洗、去垒层、脱水晶化处理后制得与基底结合为一体的宽谱广角增透亚波长结构。本发明制备方法的应用，能有效提高器件宽谱广角透明的光学功能特性；而且本发明制备方法可复制性强，易于大面积低成本的制备推广。
