[00033723]铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的低温制备方法
联系人： 汪元元
所在地：上海 上海市
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技术详细介绍
发明专利名称：
铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的低温制备方法
发明专利简介：
铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的低温制备方法，用真空泵将反应腔抽到低真空并加热，再用高纯氮清洗反应腔；将衬底在高纯去离子水中超声清洗；将二乙基锌通入反应腔脉冲时间0.1秒，清洗二乙基锌的脉冲时间为3秒；然后通入0.2秒的水蒸汽脉冲，再用4秒脉冲时间清洗掉多余的水蒸汽，完成一个沉积氧化锌的循环；将三甲基铝通入0.2秒脉冲时间，清洗脉冲时间为4秒；然后通入水蒸汽脉冲0.2秒，清洗脉冲时间4秒，完成一个沉积氧化铝的循环；多个沉积氧化锌的循环和1个沉积氧化铝的循环组成一个大循环，完成多个大循环后即制得铝掺杂氧化锌透明导电薄膜。该方法扩宽了铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的应用范围。
