[00033718]一种三明治式透明导电薄膜及制备方法
联系人： 汪元元
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技术详细介绍
发明专利名称：
一种三明治式透明导电薄膜及制备方法
发明专利简介：
本发明提供一种三明治式结构的透明导电薄膜，其特征在于，所述透明导电薄膜的模系氧化锌/铜/氧化锌。所述氧化锌薄膜的厚度为20-400nm，所述铜膜的厚度为2-8nm。本发明还提供一种三明治式结构的透明导电薄膜的制备方法，即运用原子层沉积或磁控溅射方法制备高质量的氧化锌薄膜作为底层薄膜和上层薄膜，运用磁控溅射方法制备铜薄膜作为中间层。铜膜厚度在2-8nm范围时，这种三明治式透明导电薄膜，同时具有优异的电导性能和良好的光学透过率，技术参数达到可商业化应用的水平。
