[00033587]一种电子探针检测含硼元素含量的定量分析方法
联系人： 朱君
所在地：上海 上海市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
专利技术名称：
一种电子探针检测含硼元素含量的定量分析方法
专利技术简介：
原子序数小于10的元素称为超轻元素，目前电子探针能测量的主要有：硼、碳、氮、氧、氟等元素。这些元素由于特征X射线波长长，穿透能力差；荧光产额低；背底强度高；受重元素的L、M线系的重叠峰干扰严重。故对这些元素使用电子探针或扫描电镜加能谱进行元素分析存在困难。本发明对含硼元素的样品进行电子探针的定量分析，通过改变加速电压、减小电子穿透深度，选取10KV加速电压进行定量分析，以获得比较满意的硼元素微区定量分析结果以及元素面分布结果。
