[00033537]精密激光直写刻蚀系统
联系人： 苏州大学
所在地：江苏 苏州市
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资料保密
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技术详细介绍
采用DPSSL紫外输出激光束，作为激光直写系统的光源，在610mmx800mm的幅面上，直写精密图形，是IT行业中精密图形输出装备。可实时监控激光点的聚焦变化。
支持：
矢量图形、点阵图形直写
应用领域：
IT行业，科学研究，激光精密加工
1、精密电路输出
2、显示器电极直写
3、精密掩模输出
4、精密图形加工（精密光刻）
5、材料刻划加工（硅片、聚合物）
性能指标：
输出定位精度：1微米
光点尺寸：5-50微米可调
直写幅面：610mmx800mm
激光波长：355nm（10W）
运行速度：0 - 500mm/s
