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[00030428]一种铁电薄膜红外探测器硅微桥腐蚀装置

交易价格: 面议

所属行业: 其他电子信息

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:200410061402.9

交易方式: 许可转让

联系人: 张早雄

所在地:湖北 武汉市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述

技术详细介绍

  一种铁电薄膜红外探测器硅微桥腐蚀装置


  一种铁电薄膜红外探测器硅微桥腐蚀装置,属于单晶硅基片制备的有关设备,目的在于有效地防止腐蚀液渗漏,使得薄膜沉积工艺先于微桥制备工艺成为可能,提高器件的质量及成品率。本发明加热器上安置水浴缸,水浴缸中置有烧杯,冷凝器通过密封盖设置于烧杯上,水浴缸中同时置有温度计,温度计、温控仪和加热器串联构成温度控制回路;其特征在于烧杯中设有不锈钢圆筒,该不锈钢圆筒由不同直径的两个不锈钢圆筒构成一体、直径较大的不锈钢圆筒内壁旋有固紧螺栓;该固紧螺栓为带外螺纹的圆环状螺栓。应用该装置,能有效地保护硅基片正面图形,使薄膜沉积工艺先于微桥制备工艺进行,提高器件的质量及成品率。


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