[00029336]自旋微波振荡器及其制备方法
联系人： 王老师
所在地：江苏 苏州市
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技术详细介绍
本发明提供一种自旋微波振荡器的制备方法，包括如下步骤：在氧化铝模板上制备贯穿所述氧化铝模板正面和背面的
通孔，并利用磁控溅射或电子束蒸发在所述氧化铝模板背面制作导电层；采用三电极沉积系统在所述通孔内从下至上依次沉积底电极层、磁性多层膜、顶电极层；其
中，所述磁性多层膜包括从下至上依次沉积的第一磁性层、非磁性隔离层、第二磁性层。本发明还提供这种自旋微波振荡器的结构。本发明的方法可以自下而上自组
装高度有序的均一性很好的自旋微波振荡器阵列，并且可以同一通孔中沉积多个纳米自旋微波振荡器，形成含有多个纳米自旋微波振荡器的纳米线，增大了器件的输
出功率，具有广泛的使用范围。
