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本发明提供一种GaAs隧道结及其制备方法,实现优异的隧穿性能和高的峰值电流,能够很好的满足高倍聚光多结电池的要求,提升电池的光电转换效率。所述GaAs隧道结包括在GaAs衬底表面依次设置的阻挡层、第一掺杂层和第二掺杂层,所述GaAs衬底、阻挡层以及第一掺杂层的导电类型相同,其特征在于,如果所述第一掺杂层为n型,第一掺杂剂为Te,则所述第二掺杂层为p型,第二掺杂剂为Mg;如果所述第一掺杂层为p型,所述第一掺杂剂为Mg,则所述第二掺杂剂为n型,所述第二掺杂剂为Te。
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