[00028814]中频反应磁控溅射TIO2
联系人： 黄健
所在地：江苏 常州市
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技术详细介绍
氧化钛是一种高折射率的材料，折射率在2.5-3之间。可用于光学薄膜，如生产滤光片等
传统方法采用电子束蒸发沉积。而本技术采用中频溅射电源，采用先进的反应磁控溅射工艺，沉积速度快，工艺稳定。且可根据要求，在一定范围内调节膜层的折射率大小。
本技术转让包括设备和工艺。
