[00025751]选择超晶格位置掺杂的p型Ⅲ族氮化物材料的制备方法
联系人： 周林成
所在地：福建 厦门市
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技术详细介绍
项目简介：
选择超晶格位置掺杂的ｐ型Ⅲ族氮化物材料的制备方法，涉及一种Ⅲ族氮化物半导体材料。提供一种用于制备电阻率小、空穴浓度高的选择超晶格位置掺杂的ｐ型Ⅲ族氮化物材料的制备方法。选择同质或者异质的基质材料；在基质材料上外延生长形成变换叠加的垒层和阱层，在垒层与阱层的界面和阱层与垒层的界面掺入施主杂质和受主杂质，得选择超晶格位置掺杂的ｐ型Ⅲ族氮化物材料，其中，每个生长周期的步骤为：生长带隙较宽的垒层，同时掺入受主杂质；生长施主杂质或受主杂质δ掺杂层；生长非掺的带隙较窄的阱层；生长受主杂质或施主杂质δ掺杂层；在Ｎ↓［２］气氛下对所得的选择超晶格位置掺杂的ｐ型Ⅲ族氮化物材料退火，即得目标产物。
