[00025550]并行多微通道式层流型止推用气体静压节流器
联系人： 唐乔
所在地：浙江 杭州市
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技术详细介绍
成果研究领域/方向：超精密工程技术。
成果简介：目前，我国精密制造和微电子行业需要的高端设备较多从发达国家进口，但由于涉及国防军工用途，国外厂商受其政府规定限制，对我国的发展产生严重的制约作用。在超精密设备或仪器中，导轨和轴系是最为关键的基础技术。其中，实现无摩擦润滑首选气体静压润滑技术，是实现纳米级的位移分辨力最为可行的方案。节流器是使外部加压气体进入轴承间隙前，产生节流效果、并形成具有一定承载能力及刚度的稳定润滑气膜的装置。常用的节流方式有小孔式，狭缝式，多孔质等。本成果完成了并行多微通道式层流型止推用气体静压节流器的研制，多微通道式气体静压节流器采用多个微通道进行节流，相比传统的小孔节流器可以有效规划气体流向，减小气膜振动，从而改善气体静压系统刚度和稳定性这一对矛盾。具有很好的应用及产业化前景，可实现良好的经济效益，对我国超精密工程技术领域的进步具有重要意义。本成果已发表相关学术论文5篇，授权专利2项，相关指标已达到国际水平。
