[00025533]多晶硅铸锭用高效石英陶瓷坩埚若干关键技术
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技术详细介绍
传统铸锭多晶硅制备技术主要采用定向凝固法，即在硅料完全融化后，再重新凝固结晶形成多晶硅。此方法实质是熔融硅料在坩埚底部随机形核，然后逐渐向上生长形成多晶硅锭，因此形核过程中容易产生位错并且导致晶向无规律、晶界不规则、晶粒不均匀等问题，严重影响其光电转换效率，增加制备成本。根据结晶学原理，对结晶初始阶段形核方式予以控制，有利于减少晶体缺陷，控制形成晶体结构，从而提高铸锭多晶硅转换效率和质量。
