[00024439]纳米晶硅-氧化铝和氧化硅热电薄膜材料的制备方法
联系人： 董维权
所在地：陕西 西安市
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资料保密
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技术详细介绍
一、发明创造简介
一种纳米晶硅-氧化铝和氧化硅热电薄膜材料的制备方法，由清洗石英玻璃衬底、真空蒸镀铝膜、退火步骤组成。本发明与现有热电材料及其制备方法相比，所需原材料在地球上含量丰富，价格便宜，并且无毒，材料制备方法简单、温度较低，所需制备设备为实验室和工业生产中的普通常规设备，可在工业上大规模生产。
二、创新点
提出一种新的热电材料：纳米晶硅-氧化铝和氧化硅热电薄膜及其制备方法。
三、发明的应用价值和市场前景:
可将废热转换为电能，有应用前景。
