[00023549]一种薄型真空密封连接阀装置
联系人： 韩涤非处长
所在地：江苏 苏州市
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技术详细介绍
一种薄型真空密封连接阀装置，包括：中部带孔的底板、限位垫块、中部带孔的盖板、插板和连接板。底板安装于连接腔体，盖板的中部孔和底板的中部孔同轴安装，它们之间有限位垫块形成的密封滑道，密封滑道尺寸大于盖板和底板中心的孔径，插板与密封滑道紧密配合，可在连接板的控制下分别向内侧或外侧移动，实现连接腔体的真空密封和连通。本装置克服了现有插板阀在安装过程中的复杂性和同一腔体内不可安装的问题。此装置具有以下优点：装置体积小，厚度薄(最薄处达2厘米)，结构和安装简单，可在同一腔体内安装密封，可方便的连接分子/离子束准直装置。
