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[00022532]一种基于VUV灯电离源的静电透镜装置

交易价格: 面议

所属行业: 其他电气自动化

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201220664219.8

交易方式: 完全转让

联系人: 韩涤非处长

所在地:江苏 苏州市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述

技术详细介绍

  本实用新型公开了一种基于VUV灯电离源的静电透镜装置,主要由离子聚焦透镜,skimmer电极和离子传导透镜组成。离子聚焦透镜对电离区的离子进行收集并聚焦通过skimmer电极。在传导透镜的作用下,经过skimmer的离子被调节后传输到真空室。skimmer电极的小孔不仅对进入电离区的离子进行了筛选,同时使电离区筒上端和下端的气压相差1~3个数量级,提高了仪器的灵敏度。

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