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[00021835]一种基于全息干涉术的光子晶体制造装置

交易价格: 面议

所属行业: 其他电气自动化

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:ZL201220456025.9

交易方式: 完全转让

联系人: 周林成

所在地:福建 厦门市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述

技术详细介绍

  一种基于全息干涉术的光子晶体制造装置,涉及光子晶体制造装置。依次设有激光器、空间滤波器、全息光学元件、1/2波片和光刻胶板;激光器发出的激光经过空间滤波器的扩束后照射到全息光学元件上,经全息光学元件产生四束相干的干涉光束,1/2波片置于全息光学元件的其中1个出光口之后,入射1/2波片的线偏振光的振动方向与1/2波片晶体表面光轴间的角度为设定值,四束光重叠射在光刻胶板上,在光刻胶板上对四束光重叠的干涉结构进行单次曝光,经显影流程得大面积周期性间隙阵列结构的光子晶体。所述入射1/2波片的线偏振光的振动方向与1/2波片晶体表面光轴间的角度的设定值为15°~23.5°。

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