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本发明提供一种基于MEMS检测器的中红外光谱仪,包括红外光源、前置光学系统、样品池、分光成像模块、MEMS检测器、控制与信号处理模块。本发明采用固定光栅分光,阵列检测器检测,整个仪器无任何移动部件,具有很强的环境适应能力,且由于采用线阵检测器,检测范围内各波长同时被采集,可以提高光谱采集速度。本发明体积小、便于携带,可用于现场和在线检测等,适应野外振动、潮湿以及温差大的恶劣环境。
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