[00019454]一种用于辉光无氢渗碳的石墨源极
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一种用于辉光无氢渗碳的石墨源极
本实用新型公开了一种用于辉光无氢渗碳的石墨源极，所述石墨源极包括并联放置的外部石墨罩体和内部石墨罩体，内外部石墨罩体的整体呈立方形，且内外部石墨罩体在同一侧均开有测温通气孔；所述内部石墨罩体的上下均匀分布有针状石墨源极，且该内部石墨罩体中设置有石墨卡具；所述石墨卡具将所述工件水平悬浮于上下均匀分布的针状石墨源极之间；所述外部石墨罩体的外面为金属罩体，并在该金属罩体的一侧设有另一测温通气孔，应用该石墨源极对纯钛工件进行辉光无氢渗碳处理，可提高碳元素的溅射率26倍以上，且渗碳层均匀、致密，有效缩短渗碳时间和降低渗碳温度，提高渗碳效率。
