[00018918]一种基于单个加热元件的甲烷传感器及制备方法和应用
联系人： 张玲
所在地：江苏 徐州市
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技术详细介绍
一种基于单个加热元件的甲烷传感器及制备方法和应用，适用于工矿企业中使用。该甲烷传感器包括加热元件、测量元件、环境温度测量元件。该甲烷传感器的加热元件的加热器和测量元件的测量构件通过支撑臂悬置于空气中，加热元件单独加热到高温工作状态，测量元件单独用于检测瓦斯气体浓度，环境温度测量元件检测片上温度用于温度补偿。该甲烷传感器加工工艺与CMOS工艺兼容。该传感器的优点为：结构简单、功耗低、灵敏度高、抗干扰性好、成本低。
