[00018852]一种可回收重复制备的微瓦斯传感器及其制备方法
联系人： 张玲
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技术详细介绍
一种可回收重复制备的微瓦斯传感器及其制备方法，属于微瓦斯传感器及其制备方法。该微瓦斯传感器的硅加热器中间有散热-支撑硅块；硅悬臂的一端与硅微加热器一侧相连，硅悬臂的另一端与硅支座上的固定端连接；固定端设在硅支座的埋层氧化硅上，固定端的硅层内设有掺杂硅层，金属层通过氧化硅层的窗口与固定端的掺杂硅层相接触构成欧姆接触；硅加热器完全嵌入在催化剂载体中，催化剂载体贯穿于硅加热器的中间，催化剂载体自身形成一个整体结构；采用MEMS加工的用于煤矿井下检测瓦斯浓度的低功耗瓦斯传感器，制备工艺与CMOS工艺兼容，可批量生产；该瓦斯传感器可以回收后重复制备催化剂载体及催化剂，硅微传感器使用寿命长、性能稳定、体积小、成本低。
