[00018828]悬臂梁室温瓦斯传感器
联系人： 张玲
所在地：江苏 徐州市
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技术详细介绍
一种悬臂梁室温瓦斯传感器，在硅衬底上设有由N阱、二氧化硅层、钝化层、瓦斯敏感层构成的微悬臂梁，硅衬底上表面内侧设有N阱，N阱上表面内侧设有N+电阻和P+电阻，P+电阻构成惠斯通电桥的桥臂电阻，设有二氧化硅层覆盖硅衬底和N阱，二氧化硅层上设有穿过二氧化硅层分别与P+电阻和N+电阻接触的金属层，设有覆盖金属层和二氧化硅层的钝化层，微悬臂梁的钝化层上设有瓦斯敏感层，微悬臂梁之外的二氧化硅层上设有多个露出的电极引线；敏感层吸附或解吸附甲烷导致悬臂梁根部应力改变，采用惠斯通电桥测量应力的变化实现瓦斯浓度的检测。该传感器具有性能稳定、寿命长、功耗低，体积小、分辨率高等优点并有温度补偿功能。
