[00018333]一种使用金刚石线切割的太阳能级硅晶薄片及切割方法
联系人： 卜燕
所在地：江西 萍乡市
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技术详细介绍
针对现有技术中中超薄太阳能级硅片存在的问题，本发明要解决的技术问题是通过使用金刚石线切割提供一种制造成本低、性能优的太阳能级硅晶薄片；本发明加工工艺先进简单，控制精度高，硅粉可以回收利用，大大降低了硅片的制造成本，减少了断线现象，提高了生产效率及薄片表面质量，提高了成品合格率，本发明还提供了一种使用金刚石线切割太阳能级硅晶薄片切割工艺，所述硅晶薄片切割工艺方法包括单晶圆形硅棒工艺和单晶方形硅棒金刚石线切片工艺。
