[00017845]多晶硅片的制绒方法
联系人： 王晓东
所在地：青海 西宁市
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技术详细介绍
本发明公开了一种多晶硅片的制绒方法，包括步骤：配制硝酸和氢氟酸的混合溶液作为腐蚀液对多晶硅片进行制绒；在制绒的过程中，使用表面具有微结构的滚轴压印于所述多晶硅片的制绒面上。该制绒方法中，在制绒的过程中通过使用表面具有微结构的滚轴压印于多晶硅片的制绒面上，可以使多晶硅片表面形成具有与微结构相反向的压印图形，同时可以使反应液流动以及反应过程中生成的气体及时排出，进而获得更为均匀的绒面效果。
