[00016074]Zr-Al-Si-N硬质复合涂层及其制备方法
联系人： 李红
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技术详细介绍
Zr-Al-Si-N硬质复合涂层及其制备方法
一种陶瓷材料技术领域的高硬度Zr-Al-Si-N复合涂层。 本发明采用高纯 Zr 靶，Si 靶和 Al 靶共焦溅射，沉积在金属、硬质合金或陶瓷的基体上，Zr-Al-Si-N 层的厚度总厚度为 2～3μm。这种硬质涂层能够获得 43.92GPa的高硬度，抗氧化温度超过1000℃。本发明的 Zr-Al-Si-N 复合涂层可以采用在氩、氮混合气氛中的双靶反应溅射技术在抛光的金属、硬质合金或陶瓷基体表面沉积得到。 本发明所得的 Zr-Al-Si-N 复合涂层不但具有优良的高温抗氧化性，而且具有高于23。28GPa 的硬度和超过1000℃的抗氧化温度。本发明作为高速切削刀具及其它在高温条件下服役耐磨工件的涂层。
