[00015189]超大型精密仪器及系统隔微振技术与装置
联系人： 某某某
所在地：黑龙江 哈尔滨市
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技术详细介绍
项目研制超大型隔微振装置包括气浮隔微振系统、主动阻尼隔微振系统、低刚度气浮弹簧系统及零刚度隔微振系统。整套装置实现了垂直固有频率0.703Hz，水平方向固有频率0.625Hz以及在（1~100）Hz频带内任一点台面振动速度小于0.77μm/s的技术性突破。提出了基于主动负刚度调整的大承载低固有频率、基于洛伦兹力作用的绝对速度反馈式主动阻尼、基于最优弹性弧长变化率的低刚度气浮隔微振方法以及基于气浮/磁浮承载、导向与解耦的零刚度隔微振方法，显著减低了隔微振装置垂直和水平固有频率及台面振动速度，大幅提高了装置的工作稳定性，在隔微振技术及方法上具有创新性、先进性和实用性。
