[00013487]电子行业废酸回收提纯关键技术
联系人： 张成蕾
所在地：北京 北京市
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技术详细介绍
电子行业废酸回收提纯关键技术。
随着半导体、液晶面板及太阳能电池等产业的蓬勃发展，其生产流程中使用氢氟酸和硝酸来作为蚀刻硅及硅化合物的使用量也会愈来愈多，混酸被使用后成为电子酸废液时，其所含有的氢氟酸10%左右，硝酸20%-30%。对硝酸和氢氟酸废液的治理一直是企业研究的热点，通常采用的有化学法、蒸发法、离子交换法和溶剂萃取法等。但以上方法均具有回收的酸为混酸的缺点，即无法实现氢氟酸和硝酸的单独分离，而将混酸中的氢氟酸和硝酸单独分离且提纯具有一定的工业应用价值，其中，氢氟酸可用于半导体工业使用它来除去硅表面的氧化物，而硝酸可被用来制取一系列硝酸盐类氮肥。 针对氢氟酸及硝酸与水共沸的物性特点，首先将废酸溶液提浓，除去其中的重金属盐，再通过加盐精馏分别得到氢氟酸和硝酸产品，加入的金属盐通过回收实现循环利用，可以说整套工艺可实现资源高效回收，流程简单、能耗较低，是一个高效可行的分离工艺。
