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本发明公开了一种钛铝合金靶材快速热压烧结成型工艺(专利号200910043144.4),采用热压粉末快速成型工艺,使材料在热和力的共同作用下烧结成型,利用Ti-Al混合物中铝的熔点低,将钛粉粘结在一起,从而得到需要的各种成分的钛铝靶材,可以制备出不同成分和各种尺寸规格的钛铝合金靶材,该方法制备的钛铝合金靶材致密度高、晶粒细小、成分均匀、成本低,能满足大规模产业化要求。本发明是一种短流程,低成本,粉末不易氧化,致密度较高,镀膜效果好,成分均匀,规格尺寸大的钛铝合金靶材快速热压烧结成型工艺。
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