[00011939]一种化学气相渗透增密用多料柱式工业炉
联系人： 谭平凡
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技术详细介绍
一种化学气相渗透增密用多料柱式工业炉（专利号201110152472.5），包括炉盖、炉体和炉座，所述炉盖、炉体连接为一体，在所述炉盖、炉体中设有保温罩组成钟罩式结构而整体坐装在所述炉座上；在所述炉座上设有三根或六根同圆周均布的立杆式发热体，在所述保温罩内设有与所述发热体数量相匹配的料柱室，所述料柱室上设置有布气环。本发明结构合理、能耗小、产能高，采用内热式多发热体三相平衡组合式结构，炉子结构紧凑节能。有效掌控热梯度，实现相关物理场的耦合，提高CVD质量和效率。采用多层式预热环式旋流供气，提高反应室气氛均匀度。采用独立反应室的多料柱装料，大大扩大炉子产能和提高热效率。适用于制备C/C复合材料刹车盘及炭/陶复合材料环形多工件的增密。
