[00011938]一种运动磁场辅助增强化学气相沉积方法及装置
联系人： 谭平凡
所在地：湖南 长沙市
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技术详细介绍
本发明公开了一种运动磁场辅助增强化学气相沉积方法（专利号201210158815.3），是在化学气相沉积装置中的沉积区域设有周期性旋转运动磁场，所述沉积区域中磁场强度为100高斯至30特斯拉；本发明通过运动磁场约束气相中带电粒子的运动，强化带电粒子与沉积反应气体分子之间的相互作用，提高气体的反应裂解速率，降低沉积温度，提高材料的生长速率与品质。本发明可以有效提高气体的反应速率，降低材料的沉积温度，提高材料的生长速率与品质，克服了现有化学气相沉积制备薄膜材料时存在混合气体利用率过低、沉积速率太慢和沉积温度过高等问题；适于规模化应用。
