[00001964]一种测量薄涂层厚度及其结合强度的方法
联系人： 张玲
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技术详细介绍
一种测量薄涂层厚度及其结合强度的方法，属于涂层厚度测量及结合的方法。基体表面制备的厚度为10nm到1μm范围的薄涂层，通过原位纳米力学测试系统中的纳米划痕，在得到的纳米划痕数据结果中，可在摩擦系数随时间的变化曲线中找到曲线突变位置，结合法向力随时间的变化曲线，得出薄涂层被破坏时的法向载荷，再根据法向位移随时间的变化曲线得到压入深度，该深度即为涂层厚度，根据压入深度可计算出接触面积，进而计算出涂层的结合强度。优点1、无需结合强度比涂层结合强度高的粘结剂，可以测得更多涂层的结合强度。2、通过纳米划痕实验，可以得到具体的法向载荷，再根据压入深度和针尖曲率半径计算出接触面积，可以定量的得到结合强度的数值。
