[00001743]基于反射型太赫兹时域光谱的金属表面粗糙度检测装置及方法
联系人： 张玲
所在地：江苏 徐州市
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技术详细介绍
本发明公开了一种基于反射型太赫兹时域光谱的金属表面粗糙度检测装置，包括：飞秒激光器（1）、分束器（2）、光学延迟线（3）、反射镜（4）、第一光纤耦合器（5）、第一光纤（6-1）、第二光纤（6-2）、太赫兹发射器（7）、样品台（8）、太赫兹探测器（9）、第二光纤耦合器（10）和计算机（11）；同时还公开了一种利用本装置进行的检测方法：首先利用装置获取某种材料的标准试件的太赫兹反射光谱，建立粗糙度检测模型，然后测量待测试件的太赫兹反射光谱，并应用建立的粗糙度检测模型获取粗糙度；本发明利用太赫兹波原理能够对带镀层的金属的表面粗糙度差异、腐蚀和表面损伤等进行准确检测，具有无损、非接触、分析速度快等特点。
