[00001099]医用CoCrMo合金表面制备高硬度类金刚石薄膜方法
联系人： 张玲
所在地：江苏 徐州市
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技术详细介绍
一种医用CoCrMo合金表面制备高硬度类金刚石薄膜方法，首先用H2（氢气）气对抛光清洗过的CoCrMo（钴铬钼）合金进行溅射清洗；利用常规射频等离子增强化学气相沉积以SiH4（硅烷）和H2（氢气）为气源，在CoCrMo合金表面沉积Si（硅）膜过渡层；而后采用常规射频等离子增强化学气相沉积以CH4（甲烷）和H2（氢气）为气源，在Si（硅）膜过渡层上制备出DLC膜。本发明制备的膜基之间呈锯齿状结合特征，表明膜基之间有良好的结合性能，克服了因结合性差造成界面承载能力弱的缺点；同时制备的DLC膜含有较高含量的sp3C键，可获得高硬度的DLC膜，有效提高了DLC膜的抗磨损性能。此外本发明具有工艺简单，成本低的优势，在生物材料的表面改性技术领域具有巨大的应用潜力。
